與螺桿式緊縮機(jī)相似，螺桿式真空泵的作業(yè)進(jìn)程可分為吸氣、緊縮和排氣三個進(jìn)程。跟著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，每對彼此嚙合的齒相繼完結(jié)一樣的作業(yè)循環(huán)，如今以其間一對齒來闡明。吸氣進(jìn)程，陽轉(zhuǎn)子按逆時針方向旋轉(zhuǎn)，陰螺桿按順時針方向旋轉(zhuǎn)。
螺桿式真空泵的吸氣進(jìn)程：1.吸氣進(jìn)程行將開端 2.吸氣進(jìn)程中 3.吸氣進(jìn)程完畢
　　吸氣進(jìn)程行將開端時的轉(zhuǎn)子方位。在這一時間，這一對齒前端的型線徹底嚙合，且行將與吸氣口銜接。跟著轉(zhuǎn)子開端滾動，因為齒的一端逐步脫離嚙合而形成了齒間容積，這個齒間容積的擴(kuò)展，在其內(nèi)部形成了必定的真空，而此齒間容積又僅與吸氣口連通，因而氣體便在壓差效果下流入其間。在隨后的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)進(jìn)程中，陽轉(zhuǎn)子齒不斷從陰轉(zhuǎn)子齒的齒槽中脫離出來，齒間容積不斷擴(kuò)展，并與吸氣孔口堅持連通。吸氣進(jìn)程完畢時的轉(zhuǎn)子方位，其明顯的特點是齒間容積到達(dá)峰值。跟著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，所研討的齒間容積不會再增加。齒問容積在此方位與吸氣孔口斷開，吸氣進(jìn)程完畢。
    螺桿式真空泵的緊縮進(jìn)程：1.緊縮進(jìn)程行將開端 2.緊縮進(jìn)程中 3.緊縮進(jìn)程完畢，排氣進(jìn)程行將開端
    螺桿泵緊縮進(jìn)程行將開端時的轉(zhuǎn)子方位.此刻氣體被轉(zhuǎn)子齒和機(jī)殼包圍在一個關(guān)閉的空間中，齒間容積因為轉(zhuǎn)于齒的嚙合就要開端減小。跟著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，齒間容積因為轉(zhuǎn)子齒的嚙合而不斷減小。被密封在齒間容積中的氣體被占據(jù)體積也隨之減小，導(dǎo)致壓力增加，然后實現(xiàn)氣體的緊縮進(jìn)程，緊縮進(jìn)程可一向繼續(xù)到齒間容積行將與排氣孔口連通之前。
    排氣進(jìn)程：a、排氣進(jìn)程中 b、排氣進(jìn)程完畢
　　螺桿泵的排氣進(jìn)程。齒間容積與排氣孔口連通后，即開端排氣進(jìn)程。跟著齒間容積的不斷減小，具有排氣壓力的氣體逐步經(jīng)過排氣孔口被排出，這個進(jìn)程一向繼續(xù)到齒結(jié)尾的型線徹底嚙合。此刻，齒間容積內(nèi)的氣體經(jīng)過排氣孔口被徹底排出，關(guān)閉的齒間容積的體積變?yōu)榱恪?/span>
從上述螺桿干式真空泵作業(yè)原理能夠看出，螺桿式干式真空泵是一種作業(yè)容積作回轉(zhuǎn)運動的容積式機(jī)械真空泵。氣體的緊縮依托容積的改變來實現(xiàn)，而容積的改變又是憑借螺桿泵的一對轉(zhuǎn)子在機(jī)殼內(nèi)作回轉(zhuǎn)運動來到達(dá)。它的作業(yè)客積在周期性擴(kuò)展和減小的同時，其空間方位也在改變。